據(jù)韓媒《朝鮮日報》4月6日報道，SK海力士利川M16工廠3名工人在檢查設(shè)備的過程中因毒性物質(zhì)氟酸泄露受傷。M16工廠是此前竣工的DRAM生產(chǎn)工廠。當天上午11點34分時，在京畿道利川市SK海力士 M16工廠5樓的設(shè)備進行檢查期間，發(fā)生氫氟酸泄漏事故。氟酸是無色毒性氟化氫溶解在水中的揮發(fā)性液體。使用于半導(dǎo)體電路繪制Pattern的蝕刻制程中。在這起事故中，一名30歲的工人的胳膊和腿被燒傷，另有兩名雇員也因吸入氟酸氣體轉(zhuǎn)移至附近醫(yī)院。據(jù)報道，3名均無生命危險。SK海力士表示，此次事故是在對新的M16工廠設(shè)備進行檢查時發(fā)生的，對半導(dǎo)體生產(chǎn)沒有影響。
據(jù)悉，M16工廠將主要生產(chǎn)DRAM產(chǎn)品，總面積5.7萬平方米。在2021年1月，SK海力士在韓國京畿道利川總部舉行M16新廠竣工儀式，正式宣布新廠落地。
SK海力士首次在M16配備EUV（極紫外）光刻機，并從今年下半年起生產(chǎn)第四代1α納米級DRAM產(chǎn)品。未來SK海力士將提高EUV設(shè)備利用率，進一步增強存儲器半導(dǎo)體相關(guān)的先進工程技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)力。
